刘星海教授讲完了星河计划的起源,翻开了文件夹,抽出一张折了好几折的纸,展开,铺在桌上。
那是一张手绘的地图,纸张已经泛黄,边角有些破损,但上面的线条和文字还很清晰。
纸上有几十个圆圈,用线连起来,形成了一个网状结构。
每个圆圈里写着一个单位或者一个技术方向,有些字迹已经有些模糊了。
“这是年,我们画的第一版技术地图。”刘星海教授用手指点着那些圆圈,“那时候,我们不知道谁能干什么、谁不能干什么。我们就一个一个单位地去跑、一个人一个人地去问。问的不是你能不能搞集成电路,问的是你现在在做什么,你最擅长什么。”
“然后把所有人擅长的事,标在这张地图上。做材料的在左边,做工艺的在右边,做设备的在上面,做测试的在下面。哪个方向上缺人,就去全国找。哪个单位有现成的技术积累,就把它标在地图上,拉进来。”
他抬起头,看着长。
“这张地图,不是坐在办公室里画出来的。是吕辰和调研组的同志们,用了将近一年时间,跑遍了大半个中国,一张图一张图画出来的。”
长转头看了吕辰一眼。
吕辰腰板挺得很直,脸上的表情很平静,但手指在膝盖上轻轻攥了一下。
“小吕,你当时跑了多少地方?”长问。
吕辰想了想,说:“长,具体数字记不太清了。大概有十几个省市的七八十家单位。从京城的科研院所,到上海、天津的工厂,到东北的老工业基地,再到西南的三线单位。”
“一圈调研下来,就知道谁和谁应该坐在一起了。”
长点了点头,目光重新落在那张泛黄的地图上。
“这张地图,能不能让我看看?”
刘星海教授连忙站起来,双手把那张纸递过去。
长接过去,低头看了好一会儿。
他的目光从那些圆圈上一个个扫过,有的圆圈里的单位名字他熟悉,有的他没见过。
“这张地图,是宝贝。”他把地图折好,递回给刘星海教授,“好好保存,以后放到博物馆去。”
会议室里有人低声笑了,但笑声里带着一种说不出的感动。
长又转向陈光远。
“光远同志,我还有个问题问你。”
陈光远坐直了身子。
“星河计划成立的时候,光刻机的研落到你们长光所头上。当时你们是怎么做的?我听说你们用木头搭了个模型?”
这句话说出来的时候,长的语气里带着一丝好奇,也带着一丝笑意。
陈光远也笑了,是那种回忆往事时才有的、带着一丝不好意思的笑。
“长,您说的对。我们确实用木头搭过模型。”
他站起来,走到白板前,拿起记号笔,画了一个方方正正的轮廓。
“年秋天,刘教授把我们几家单位叫到一起开会,讨论光刻机的技术路线。当时国内对于光刻这件事,几乎没有任何经验。我们知道原理,用紫外线通过掩模版,把图形投影到涂了光刻胶的硅片上。但是,知道原理和造出机器,中间差了十万八千里。”
“全世界都一样。那时候,美国人也没定型,欧洲人也在摸索,苏联人走的是电子束刻的路子。没有现成的图纸,没有成熟的样机,没有任何一家公司卖这种设备。你想买都买不到。”
他在那个方方正正的轮廓里画了几条线,标了几个方块。
“所以我们当时的第一个问题不是‘怎么做’,而是‘长什么样’。”
他放下笔,转过身,看着长。
“我们请了一个木工师傅,是机床厂的老把式,姓周。周师傅没读过什么书,但手艺好,看过图纸就能做出东西。我们把原理跟周师傅讲了,又画了一张非常简陋的示意图,然后对他说,周师傅,您帮我们搭一个木头模型,我们就想知道,这台机器大概长什么样,各个部件大概摆在哪里。”
“周师傅花了三天时间,用松木做了一个模型。方方正正的,像个大柜子。上面是光源和掩模版,中间是镜头,下面是工件台。看起来粗糙,但比例是对的,各个部件的位置也是对的。”
陈光远说到这里,自己笑了一下。
“有了这个木头模型,我们心里就有底了。
至少知道这台机器应该长什么样,各个部件之间应该怎么配合。
然后就开始往上面加东西,今天加一个调平机构,明天加一个对准系统,后天换一种光源。今天加一样,明天又加一样,一点点地往前拱。”
“有时候加的东西不对,整个系统就不工作,拆了重来。有时候加对了,但稳定性和精度不够,就反复调、反复试。光刻机的工作台,要求精度是微米级的,刚开始我们连百分之一毫米都保证不了。后来一点一点地磨,一点一点地改,用了三年时间,才做出了第一台能用的样机。”